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本发明提供了一种硅片安全运输方法，对机械手片叉进行了位姿识别，通过在片叉上设置不在同一直线上的三个或以上的传感器，在基座上设定基准面，在基准面上设定探测点，片叉下表面的传感器探测到每个传感器与探测点的坐标值，再利用这些坐标值建立片叉下表面的...
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