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通过程序降温提高金属氧化物传感器气体敏感度的方法技术
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文档序号:14555851
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本发明公开了一种提高金属氧化物传感器气体敏感度的方法,该方法是在洁净背景气氛下,将金属氧化物气体传感器在特定工作温度(200-400℃)稳定,然后设定降温速度为1-50℃/s范围内的某一特定速度,程序降温到特定低温(室温-200℃),获得传...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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