下载GaN基LED垂直芯片结构及其制备方法的技术资料

文档序号:14555388

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本发明提供一种GaN基LED垂直芯片结构及其制备方法,该结构包括:键合衬底;刻蚀阻挡层,对应切割道区域结合于所述键合衬底表面;P电极,键合于所述键合衬底;发光外延结构,结合于所述P电极上,包括依次层叠的P-GaN层、量子阱层及N-GaN层,...
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