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一种光刻用共聚物，其特征在于，其浊度Th(80)为1.0以上、4.6NTU以下，并且浊度Tm(80)为1.0以上、3.8NTU以下，该浊度Th(80)是这样的浊度，将在丙二醇单甲醚乙酸酯溶液中添加正庚烷时使浊度成为10NTU的正庚烷添加量设...
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