下载半导体芯片的制造方法的技术资料

文档序号:14536914

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本发明提供一种半导体芯片的制造方法,包括:在复合衬底上生长有结构的半导体薄膜,得到结构I;将半导体薄膜进行光刻,定义出图形后刻蚀,刻蚀到腐蚀层,去掉光刻胶,清洗,依次形成反射欧姆接触层、阻挡保护层,键合层,得到结构II;将结构II的键合层通...
该专利属于闽南师范大学;江苏达安光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过闽南师范大学;江苏达安光电有限公司授权不得商用。

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