下载太阳电池的制备方法的技术资料

文档序号:14505389

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本发明提供一种太阳电池的制备方法,包括如下步骤:S1:光刻上电极,在所述外延片的入光面涂光刻胶,涂完胶后将电池烘烤,后采用光刻机对外延片涂胶面进行曝光、显影、冲洗和干燥;S2:蒸镀上电极,将所述外延片光刻面朝向蒸发源装入镀膜机中,进行真空蒸...
该专利属于中国电子科技集团公司第十八研究所;天津恒电空间电源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第十八研究所;天津恒电空间电源有限公司授权不得商用。

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