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一种聚合物柔性的可变光衰减器及其制备方法技术
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文档序号:14504376
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一种聚合物柔性的可变光衰减器及其制备方法,属于聚合物光波导柔性器件制备技术领域。本发明首先采用湿法腐蚀制备电极,制备波导与电极间隔层,而后利用突起高度不同的透明紫外纳米压印模板对版,制备凹槽,而后旋涂、固化芯层、包层材料,最后抛光(或采用准...
该专利属于吉林大学所有,仅供学习研究参考,未经过吉林大学授权不得商用。
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