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本发明提供了一种超薄晶圆片吸附搬运机构，包括：磁偶式无杆气缸，包括沿第一方向设置的滑杆；沿第二方向设置的安装板，所述安装板的第一端滑动地设置在所述滑杆上，通过所述磁偶式无杆气缸驱动所述安装板沿所述滑杆移动；滑台连接结构，滑动连接在所述安装板...
该专利属于北京中电科电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中电科电子装备有限公司授权不得商用。

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