下载适用较大尺寸基板的复合方法及其装置的技术资料

文档序号:14496836

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种适用较大尺寸基板的复合方法及其装置,该方法包括提供一转台,该转台具有一能容纳两片基板的承放区,所述两片基板包括一第一基板及一第二基板,摆放该第一基板至承放区固定,并驱动该转台对第一基板进行翻面,接着摆放该第二基板至承放区固定,...
该专利属于威光自动化科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过威光自动化科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。