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本发明涉及一种太赫兹时域反射系统。太赫兹时域反射系统用于对半导体集成电路故障进行检测,包括脉冲激光器、分束装置、光学延迟线装置以及电脉冲收发装置。超短脉冲激光激发电脉冲收发装置产生和接收高频电脉冲信号,高频电脉冲信号的频率皮秒量级,且该高频...该专利属于深圳市太赫兹科技创新研究院;深圳市太赫兹系统设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市太赫兹科技创新研究院;深圳市太赫兹系统设备有限公司授权不得商用。