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一种热释电探测器吸收层表面金字塔阵列结构的制备方法技术
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下载一种热释电探测器吸收层表面金字塔阵列结构的制备方法的技术资料
文档序号:14479484
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本发明公开了一种热释电探测器吸收层表面金字塔阵列结构的制备方法,涉及热释电探测器电子技术领域。本发明提供的金字塔阵列结构能够解决现有镍铬或其他材质吸收层在红外波段反射率高的问题,通过在现有吸收层表面刻蚀形成由多个微型金字塔单元以m×n方式紧...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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