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一种基于多孔硅的热整流元件，涉及热整流元件。设有硅基片，在硅基片的非抛光面通过磁控溅射的方法镀一层铝膜，通过电化学腐蚀法在硅基片的抛光面腐蚀形成多孔硅层。通过电化学腐蚀法制备多孔硅，得到一个非对称性结构的元件，通过NETZSCH公司的LFA...
该专利属于厦门大学所有，仅供学习研究参考，未经过厦门大学授权不得商用。

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