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一种共聚焦光学扫描仪，主要应用于生物医学显微成像领域和材料研究和集成电路芯片检测成像，其特征在于在针孔和XY扫描振镜之间放置一个沿光轴移动动态聚焦透镜，通过移动动态聚焦透镜来改变穿过针孔、经XY振镜反射进入远心扫描透镜的光束的发散角，以在不...
该专利属于北京世纪桑尼科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京世纪桑尼科技有限公司授权不得商用。

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