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基于电阻炉的晶体自动化生长装置制造方法及图纸
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下载基于电阻炉的晶体自动化生长装置的技术资料
文档序号:14459033
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本实用新型公开了基于电阻炉的晶体自动化生长装置,包括炉体(1)、基座(2)、支架(3)、坩埚(4)、提升组件、旋转组件、控制处理器(16)等,旋转组件包括伺服电机I(7)、伺服驱动器I(8)以及转轴(9),提升组件包括伺服电机II(11)、...
该专利属于成都晶九科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都晶九科技有限公司授权不得商用。
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