下载电感的形成方法及电感的技术资料

文档序号:14454771

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本发明提供了一种电感的形成方法及电感,电感的形成方法包括:提供衬底,所述衬底中具有第一金属层;在所述衬底中形成第一沟槽和第二沟槽,所述第二沟槽与所述第一金属层连通;在所述第一沟槽和所述第二沟槽内填充导电材料;在所述衬底上形成第二金属层,刻蚀...
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