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本发明公开了一种用于测量TFT的各膜层之间对位精度的对位结构，其包括：在玻璃基板上的对位基准膜层、阻隔膜层及待对位膜层，所述阻隔膜层中具有通孔，所述对位基准膜层和所述待对位膜层均位于所述通孔中，且所述待对位膜层设置在所述对位基准膜层上。由于...
该专利属于武汉华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉华星光电技术有限公司授权不得商用。

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