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本发明公开了一种基于硅通孔阵列实现的LC低通滤波器，包括：顶层、中间层和底层，中间层包括：半导体衬底、绝缘层和硅通孔金属，半导体衬底为硅衬底，其上刻蚀有贯通上下表面的硅通孔，硅通孔按4行、5列的阵列结构排布，在该阵列中，列间距等于硅通孔的直...
该专利属于西安电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子科技大学授权不得商用。

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