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一种三电极结构的氦离子化检测器，其特征在于，包括：放电室组件包括放电室，用于产生亚稳态氦离子；电离室组件包括电离室，设置于所述放电室组件下方，所述电离室通过通道与所述放电室相通，所述电离室内临近所述通道下端部设置接地电极，用于屏蔽电磁噪声进...
该专利属于中国科学院电子学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院电子学研究所授权不得商用。

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