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提供一种具有光学模块(12)的光学器件，所述光学模块包括至少一个光学元件(4、14)和用于控制光学器件的控制模块(10)，其中光学模块(12)包括具有存储器(15)以及致动器(11)和传感器中的至少一个的子系统(3)，其中用于设定子系统(3...该专利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司显微镜有限责任公司授权不得商用。
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提供一种具有光学模块(12)的光学器件，所述光学模块包括至少一个光学元件(4、14)和用于控制光学器件的控制模块(10)，其中光学模块(12)包括具有存储器(15)以及致动器(11)和传感器中的至少一个的子系统(3)，其中用于设定子系统(3...