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微桥结构以及微测辐射热计制造技术
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文档序号:14439590
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本实用新型涉及辐射热计,提供一种微桥结构,包括衬底以及位于所述衬底上的桥腿层,所述桥腿层通过两根第一锚柱支撑于所述衬底上,还包括位于所述桥腿层正上方的桥面吸热层,所述桥面吸热层通过至少一根第二锚柱支撑于所述桥腿层上,所述桥面吸热层上开设有贯...
该专利属于武汉高德红外股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉高德红外股份有限公司授权不得商用。
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