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本发明公开了一种本发明涉及微加工工艺和相关的复合微机械电容式超声换能器，提供了一种复合微机械电容式超声换能器（复合CMUT）的加工制备方法。利用此方法使CMUT单元中高频和低频结构较易在单一CMUT单元实现。CMUT的高频结构和低频结构分别...
该专利属于河南大学所有，仅供学习研究参考，未经过河南大学授权不得商用。

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