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本发明公开了一种两自由度隔振与精密定位的复合主动隔振器，该隔振器包括基础平台(10)和负载平台(30)，其特征在于：该隔振器还包括隔振单元，其设置在所述基础平台(10)和负载平台(30)之间，所述隔振单元包括沿第一方向设置的空气弹簧(20)...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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