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本发明提出了一种内分立外环形的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，其中：中心固定支撑柱一端与单晶硅基底连接，另一端与微型谐振子连接；外电极设置于单晶硅基底或玻璃基底的表面；内电极设置于单晶硅基底或玻璃基底的表面；单晶硅基底与玻璃基底键合；本发...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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