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一种金纳米孔薄膜电离式一氧化碳传感器制造技术
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文档序号:14418252
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本发明公开了一种金纳米孔薄膜电离式一氧化碳传感器,包括三个自下而上依次分布的第一、第二和第三电极,第一电极由内表面附着有分布着蒸发沉积法生长金纳米孔薄膜的金属膜基底及设有小透气孔的电极构成;第二电极由中心设有小引出孔的引出极构成;第三电极由...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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