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基于平行极板电容的接近觉传感器及其检测方法技术
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文档序号:14416626
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本发明公开了一种基于平行极板电容的接近觉传感器,形状、大小相同的表层衬底、中间层和底层衬底自上而下成层叠结构,表层衬底上表面设置驱动电极、感应电极和保护环,驱动电极设于表层衬底上表面的中心位置,驱动电极的外围一周耦合有保护环,保护环的外围耦...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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