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本发明实施例公开了双扩散金属氧化物半导体DMOS器件有源区的制作方法及DMOS器件。本发明实施例中通过在N型衬底上形成N型外延层、栅氧化层和掺杂的多晶硅层，并形成栅极区域及凹槽；在所述N型外延层内形成P型体区,在所述P型体区内形成N型源区；...该专利属于北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司授权不得商用。