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本发明公开了一种CMP金属膜厚测量数据的离线分段处理方法和处理系统,该方法包括:读取晶圆表面金属膜厚变化数据;如果最终金属膜厚度的采样信号幅值大于干扰信号幅值,设定第一幅度阈值;根据第一幅度阈值从膜厚数据中获取测量信号段的上升沿和下降沿;根...该专利属于天津华海清科机电科技有限公司;清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津华海清科机电科技有限公司;清华大学授权不得商用。
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本发明公开了一种CMP金属膜厚测量数据的离线分段处理方法和处理系统,该方法包括:读取晶圆表面金属膜厚变化数据;如果最终金属膜厚度的采样信号幅值大于干扰信号幅值,设定第一幅度阈值;根据第一幅度阈值从膜厚数据中获取测量信号段的上升沿和下降沿;根...