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粒子测量装置制造方法及图纸
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下载粒子测量装置的技术资料
文档序号:14406589
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提供一种能够通过更简便的装置结构来探测在粒子的测量中使用的谐振激光的振荡模式及其变化的粒子测量装置。该粒子测量装置具备:光谐振器,其使激光在两个相向的反射镜之间往复,来形成使该激光的能量放大而得到的谐振激光;粒子输送单元,其以使作为测定对象...
该专利属于富士电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士电机株式会社授权不得商用。
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