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一种基于VO2薄膜的柔性呼吸传感器及其制备方法技术
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文档序号:14403928
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本发明属于功能材料合成领域,具体涉及一种基于氧化钒(VO2)薄膜的柔性呼吸传感器及其制备方法,克服了VO2纳米线传感器测量误差大、制备工艺复杂以及应用难度大的缺陷。本发明基于VO2薄膜的柔性呼吸传感器,包括聚酰亚胺薄膜、设置于聚酰亚胺薄膜上...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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