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一种用于从使用基于硅石的磨料液的ＣＭＰ过程所排放的废液中回收磨料的设备。该设备包括一个薄膜分离装置，可将ＣＭＰ过程所排放的废液注入到该薄膜分离装置中，还包括一个洗涤装置，通过该洗涤装置用水来洗涤通过薄膜分离装置所获得的浓缩磨料液，还包括一个...
该专利属于栗田工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过栗田工业株式会社授权不得商用。

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