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本发明提供了一种研磨垫修整装置及研磨垫修整方法，所述研磨垫修整装置包括驱动装置、连杆、用于修整研磨垫的调整头以及用于清洁研磨垫的清洁头，所述连杆的两端分别与驱动装置和调整头连接，所述清洁头套设于连杆上并与驱动装置连接，所述清洁头能够在驱动装...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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