下载一种薄膜晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:14383091

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本发明实施例提供了一种薄膜晶体管及其制备方法。该薄膜晶体管包括:上栅极(1)、下栅极(4)、上绝缘层(6)、下绝缘层(7)、半导体层(5)、源极(2)和漏极(3);其中,所述下栅极(4)上方设有所述下绝缘层(7);所述下绝缘层(7)上方设有...
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