下载硅片周转架的技术资料

文档序号:14377474

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本实用新型公开了一种硅片周转架,包括移动架、与移动架通过转轴相转动连接的放置架,转轴的轴心线与铅垂线相平行,移动架的底部转动设置有移动滚轮,放置架的上表面设置有若干组定位结构,定位结构为对称设置于放置架上的L形弹性摩擦块,移动架与放置架之间...
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