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编码器系统包括：编码器头，用于与沿着编码器平面延伸的衍射编码器刻度一起使用，其中所述编码器头包括被如下配置和布置的多个光学元件：i)以相对于编码器平面的法线的第一入射角将第一入射光束定向到所述衍射编码器刻度；ii)以相对于编码器平面的法线的...
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