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一种抗反射结构，其包括基板以及渐变膜。渐变膜具有金属掺杂的氟氧化硅且配置于基板上。渐变膜的硅：金属原子比自渐变膜的表面往基板逐渐降低。渐变膜的硅：金属原子比为大于约1：1至小于约10：1。另提出一种抗反射结构的制造方法。...
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