下载硅片输送架的技术资料

文档序号:14363168

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本实用新型公开了一种硅片输送架,包括输送架、引导输送机构、合格收集机构、次品收集机构,引导输送机构包括柔性段以及刚性段,柔性段与输送架的输出端相转动连接,刚性段与柔性段相连接,刚性段的输出端与合格收集机构或者次品收集机构相衔接,刚性段的输出...
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