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本发明提供一种图形化平面磁芯双层平面螺旋结构薄膜微电感及制备方法，包括：由底层薄膜磁芯和顶层薄膜磁芯组成的薄膜磁芯，由上层平面螺旋线圈和下层平面螺旋线圈组成的双层平面螺旋结构线圈，两个引线，两个引脚，以及绝缘材料；方法为：溅射Cr/Cu种子...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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