下载使用微圆顶阵列的压电式换能器的技术资料

文档序号:14359333

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一种超声波压电式换能器装置,包括换能器阵列和基底,换能器阵列由振动元件阵列组成,换能器阵列中的振动元件阵列附接至基底。基底包括集成电互连,用于在振动元件和外部控制电路之间传送驱动信号和感测信号。基底可以是ASIC晶圆,其包括集成电路,用于控...
该专利属于富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司授权不得商用。

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