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一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构制造技术
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下载一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构的技术资料
文档序号:14355807
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本发明涉及MEMS振动陀螺,具体是一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有MEMS振动陀螺抗冲击性能差的问题。一种抗高冲击S形弹性梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构,包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性...
该专利属于中北大学所有,仅供学习研究参考,未经过中北大学授权不得商用。
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