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本发明提供一种薄膜晶体管，包括：基板；栅极，设置在该基板上；栅极绝缘层覆盖该栅极；沟道层，设置在该栅极绝缘层上；蚀刻阻挡层，设置在该沟道层上，且该蚀刻阻挡层定义第一通孔与第二通孔；源极设置在该蚀刻阻挡层上经该第一通孔与该沟道层连接，且沿该蚀...该专利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司授权不得商用。