下载一种氖氦分离过程中液氮自动回收装置的技术资料

文档序号:14329802

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本实用新型提供了一种氖氦分离过程中液氮自动回收装置,该回收装置包括:液氮工作装置、第一液氮储罐、真空泵、自增压汽化器、第二液氮储罐和控制装置,控制装置分别与液氮工作装置、真空泵、自增压汽化器、液氮排放调节阀、抽真空调节阀、自增压调节阀和第一...
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