下载微机电芯片与集成电路芯片的混合封装结构的技术资料

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本实用新型公开了一种微机电芯片与集成电路芯片的混合封装结构,包括微机电芯片、集成电路芯片、上基板、下基板以及设置于上基板和下基板之间的塑封胶,微机电芯片、集成电路芯片与上基板和/或下基板之间形成电连接,上基板与下基板之间形成电连接,上基板上...
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