下载空气流量传感器的技术资料

文档序号:14316132

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本实用新型公开了一种空气流量传感器。其中,所述空气流量传感器包括:半导体衬底;在所述半导体衬底上面设有隔热的绝缘层;在所述绝缘层上依次设有环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热电阻和下游测温电阻;分别与所述环境空气测温电阻、上游测温电阻、发热...
该专利属于上海微联传感科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微联传感科技有限公司授权不得商用。

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