下载一种含钼复合氮化物减摩镀层及其制备方法的技术资料

文档序号:14313563

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本发明公开了一种含钼复合氮化物减摩镀层,该镀层为具有层状周期结构的CrTiAlN/MoN镀层,镀层的调制周期为3nm~8nm。本发明还公开了其制备方法:将工件清洗干燥后放入真空室中抽真空,然后通氩气、进行离子轰击清洗,最后通氮气、沉积镀层,...
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