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本实用新型公开了一种真空排气台,包括真空室,为中空长条型结构;在真空室上开设有多个第一开口和一个排气口,多个第一开口和排气口分别位于真空室的相对两侧壁;阀门,与真空室的排气口连接,其中,真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等;多...该专利属于成都西沃克真空科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都西沃克真空科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种真空排气台,包括真空室,为中空长条型结构;在真空室上开设有多个第一开口和一个排气口,多个第一开口和排气口分别位于真空室的相对两侧壁;阀门,与真空室的排气口连接,其中,真空室垂直于长方向上的截面面积与阀门的横截面积相等;多...