下载面曝光3D打印约束基板防粘附增透功能膜及其制备方法的技术资料

文档序号:14281580

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本发明公开了一种面曝光3D打印约束基板防粘附增透功能膜,包括刻蚀在石英基板表面的纳米结构层,及沉积在纳米结构层表面的低表面能修饰层。本发明还公开了其制备方法:通过浸渍提拉法在石英基板表面单层密排二氧化硅小球;以单层密排二氧化硅小球为掩蔽膜,...
该专利属于西安理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安理工大学授权不得商用。

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