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基板处理装置制造方法及图纸
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下载基板处理装置的技术资料
文档序号:14276625
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基板处理装置以使得通过多个描绘单元的各描绘线在基板上描绘的图案彼此随着基板向长度方向的移动而在基板的宽度方向上接合在一起的方式,沿基板的宽度方向配置有多个描绘单元。测量装置的反射光检测部设于多个描绘单元的每一个上,当检测到因投射光束的点光而...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
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