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本发明属于纳米材料领域，公开了一种SiO2不规则纳米晶体网状结构及其制备方法。该方法是以SiO2粉和S粉作为反应源，在低真空系统的高温管式炉的高温区发生反应，并随着载气沉积到硅片衬底的低温区域上。该方法操作简单、产量高、成本低、安全环保、不...
该专利属于渤海大学所有，仅供学习研究参考，未经过渤海大学授权不得商用。

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