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本发明提供了一种由三氯氢硅生产高纯硅烷的系统及方法，本发明的系统包括反应塔、多级冷凝器、压缩机、脱轻塔和产品塔，其中反应塔的上端出口与多级冷凝器的进口相连接；多级冷凝器的气相出口与压缩机的进口相连接；压缩机的出口与脱轻塔的原料进口相连接；脱...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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