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一种真空密封件分压漏率测量装置制造方法及图纸
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下载一种真空密封件分压漏率测量装置的技术资料
文档序号:14266953
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本实用新型公开了一种真空密封件分压漏率测量装置,用于测量真空密封件漏气组分及各组分的分压漏率。该装置包括第一真空规(1)、质谱计(2)、标准漏孔(3)、第一截止阀(4)、真空室(5)、插板阀(6)、角阀(7)、限流小孔(8)、第一抽气泵组(...
该专利属于中国科学院光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。
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